프리커서 케미칼은 반도체 및 디스플레이 박막 증착(CVD, ALD) 공정에 사용되는 핵심 전구체 화학물질입니다. 에프알디는 고객 맞춤형 고순도 프리커서를 개발·공급하며, 신뢰성 높은 품질과 안정적인 공급망을 바탕으로 첨단 반도체 공정의 생산성과 수율 향상에 기여합니다. 다양한 금속 및 비금속 계열 프리커서를 제공하여 차세대 반도체 소재 시장을 선도합니다.
Liquid Delivery System(LDS)은 반도체 제조 공정에서 사용되는 고순도 액상 프리커서(Precursor)를 안정적으로 공급하는 첨단 시스템입니다. 업계 최고 수준의 프리커서 관리 기술을 적용하여 용기 내 잔여물을 최소화하고 화학물질 낭비와 비용을 절감할 수 있습니다. 안전성과 신뢰성이 뛰어나며 생산라인의 효율적인 운영을 지원합니다.
OLED 디스플레이와 반도체 제조공정에 사용되는 광개시제(Photo Initiator), 프리커서 리간드(Precursor Ligand) 등 첨단 화학소재를 개발·공급합니다. 뛰어난 내구성과 정밀도를 자랑하는 이들 소재는 차세대 디스플레이와 반도체 산업에서 핵심적 역할을 하며 국산화에도 기여하고 있습니다.
CpZr은 ALD(원자층증착) 공정에서 ZrO₂ 박막 증착에 사용되는 고순도의 지르코늄계 유기금속 전구체입니다. DRAM, 3D NAND 등 첨단 반도체 소자의 미세 패턴 형성 및 고유전율 유전막 구현에 최적화되어 있으며, 뛰어난 증착 균일성과 높은 순도를 자랑합니다. SK트리켐의 독자적 기술력으로 생산되어 글로벌 메모리 제조사의 까다로운 품질 기준을 만족시키며, 안정적인 공급망과 맞춤형 솔루션 제공이 가능합니다.
반도체 소자 제조 공정에서 박막 증착(CVD/ALD)에 사용되는 초고순도 실리콘 계열 프리커서입니다. BDEAS는 절연막 형성 및 고집적화된 회로 구현에 필수적인 소재로, 우수한 품질과 안정성을 바탕으로 글로벌 반도체 제조사에 공급되고 있습니다. 상온에서 무색 액체 형태를 띠며, Si-N 결합 구조 덕분에 다양한 첨단 공정 적용이 용이합니다.
