에스케이트리켐(주) - K-Global TechHub

기업 정보

주요 상품

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CpZr (지르코늄 프리커서)
CpZr은 ALD(원자층증착) 공정에서 ZrO₂ 박막 증착에 사용되는 고순도의 지르코늄계 유기금속 전구체입니다. DRAM, 3D NAND 등 첨단 반도체 소자의 미세 패턴 형성 및 고유전율 유전막 구현에 최적화되어 있으며, 뛰어난 증착 균일성과 높은 순도를 자랑합니다. SK트리켐의 독자적 기술력으로 생산되어 글로벌 메모리 제조사의 까다로운 품질 기준을 만족시키며, 안정적인 공급망과 맞춤형 솔루션 제공이 가능합니다.
BTBAS (비스-터트-부틸아미노실란)
BTBAS는 CVD/ALD 공정을 통한 SiO₂ 박막 증착용 실리콘계 전구체로, 차세대 반도체의 게이트 절연막 및 인터레이어 디엘렉트릭 등에 폭넓게 활용됩니다. 우수한 열적 안정성과 낮은 금속 불순물 함량으로 초미세 회로 구현에 적합하며, 대량생산 라인에서도 일관된 품질과 높은 생산성을 제공합니다.
CpHf (하프늄 프리커서)
CpHf는 ALD 공정에서 HfO₂ 박막 증착용으로 개발된 하프늄계 유기금속 전구체입니다. 최신 DRAM 및 로직 반도체의 High-k 유전막 형성에 필수적인 소재로서, 탁월한 막질 특성과 내열성을 보장하며 고객 맞춤형 사양 대응이 가능합니다.

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