씨에스케이(주)

Protron은 반도체 제조 공정에서 발생하는 유해 폐가스를 친환경적으로 정화하여 대기로 안전하게 배출하는 차세대 비연료(Non-fuel) 가스저감장치입니다. 화석연료를 사용하지 않으면서도 CVD, Diffusion, Etch 등 다양한 반도체 공정에 적용 가능하며, 우수한 가연성 처리능력과 높은 효율성을 자랑합니다. 탄소 저감 및 ESG 목표 달성을 위한 최적의 솔루션으로 인정받고 있습니다.

• 반도체공정
• 유해가스저감
• 친환경설비
• 탄소저감
• ESG

Liquid Delivery System(LDS)은 반도체 제조 공정에서 사용되는 고순도 액상 프리커서(Precursor)를 안정적으로 공급하는 첨단 시스템입니다. 업계 최고 수준의 프리커서 관리 기술을 적용하여 용기 내 잔여물을 최소화하고 화학물질 낭비와 비용을 절감할 수 있습니다. 안전성과 신뢰성이 뛰어나며 생산라인의 효율적인 운영을 지원합니다.

• 액상공급시스템
• 프리커서공급
• 반도체장비
• 고순도화학품관리
• 생산효율화