파인세라믹스는 반도체 식각공정 등 전공정에 사용되는 소모성 부품(실리콘, 쿼츠 등)으로, 내열성·내식성·정밀가공성이 뛰어나 반도체 제조의 안정성과 생산성을 높입니다. SK엔펄스는 30년 이상의 연구개발을 통해 파인세라믹스 소재의 국산화와 품질 혁신을 이끌어왔으며, 국내외 반도체 제조사의 핵심 파트너로 자리매김하고 있습니다.
하나머티리얼즈의 Silicon Electrode & Ring은 반도체 제조공정 중 Dry Etching(식각) 공정에 필수적으로 사용되는 핵심 소모성 부품입니다. 고순도의 단결정 실리콘을 기반으로 제작되어, 미세 패턴 구현과 플라스마 내구성이 뛰어나며 글로벌 주요 반도체 업체에 공급되고 있습니다. 세계 최초 600mm 대구경 실리콘 잉곳 개발 기술을 바탕으로 차세대 공정 대응 및 품질 혁신을 이끌고 있습니다.
한솔아이원스는 세계 1위 반도체 장비 기업 어플라이드머티어리얼즈에 공급하는 식각(Etching) 공정용 핵심 부품을 자체 설계·가공·코팅 기술로 생산합니다. 이 부품은 웨이퍼에서 불필요한 부분을 정밀하게 제거하는 데 사용되며, 초정밀 가공과 내구성, 오염 저감 특화 코팅으로 반도체 제조의 수율과 품질 향상에 기여합니다. 글로벌 Top-tier 고객사와의 협업 경험을 바탕으로 고난이도의 사양 대응력과 신뢰성을 자랑합니다.
미코의 세라믹 히터는 증착(CVD) 및 식각(Etch) 공정에 최적화된 고성능 부품으로, 고순도 세라믹 소재와 정밀 가공 기술을 바탕으로 뛰어난 온도 균일성과 내구성을 제공합니다. 반도체 및 디스플레이 제조 장비에 적용되어 공정 효율과 수율을 극대화하며, 국내외 주요 반도체 기업에 공급되고 있습니다.
반도체 식각 공정에서 사용되는 소모성 부품으로, 실리콘 웨이퍼를 고정하고 플라즈마를 집중시켜 식각밀도를 균일하게 유지하며 웨이퍼 오염을 방지합니다. 삼양세라텍은 국내 최초로 열간 가압 방법을 적용한 B4C(탄화붕소) 포커스링 제조 기술과 자체 개발 장비를 통해 품질 및 원가 경쟁력을 확보하였으며, 고온·플라즈마 내성이 뛰어난 소재와 혁신적 공정으로 반도체 산업의 공급망 안정에 기여합니다.
반도체 식각(Etching) 공정에서 사용되는 포커스링은 실리콘 계열 소재로 제작되어, 미세 공정의 정밀도를 높이고 반도체 수율을 극대화하는 핵심 소모성 부품입니다. 월덱스의 포커스링은 고순도 실리콘 및 파인 세라믹스를 적용해 내구성과 내식성이 뛰어나며, 글로벌 메모리 및 비메모리 반도체 제조사에 공급되어 첨단 반도체 생산라인의 안정적 운영을 지원합니다.
케이엔제이는 세계에서 두 번째로 CVD(화학기상증착) 방식의 실리콘카바이드(SiC) Focus Ring 양산에 성공한 기업으로, 이 제품은 반도체 식각 공정에서 플라즈마 균일성 유지 및 공정 수율 향상을 위해 사용됩니다. 고순도 SiC 소재와 정밀 가공 기술을 바탕으로 뛰어난 내식성과 내열성을 제공하며, 다양한 반도체 제조 환경에 최적화된 성능을 자랑합니다.
반도체 제조 공정 중 식각(Etching) 단계에 사용되는 고순도 실리콘 소재 부품으로, 자체 생산한 실리콘 잉곳을 활용하여 내구성과 정밀도가 뛰어납니다. 삼성전자, SK하이닉스 등 글로벌 반도체 기업에 공급되며, 미세 가공 및 평탄화 기술이 적용되어 공정 효율과 품질 향상에 기여합니다.
