(주)미코

미코의 세라믹 히터는 증착(CVD) 및 식각(Etch) 공정에 최적화된 고성능 부품으로, 고순도 세라믹 소재와 정밀 가공 기술을 바탕으로 뛰어난 온도 균일성과 내구성을 제공합니다. 반도체 및 디스플레이 제조 장비에 적용되어 공정 효율과 수율을 극대화하며, 국내외 주요 반도체 기업에 공급되고 있습니다.

• 반도체장비
• 세라믹히터
• CVD
• 식각공정
• 고내열부품

정전척(ESC)은 디스플레이 패널 및 반도체 웨이퍼의 정밀한 고정과 이송을 위해 설계된 핵심 부품입니다. 미코의 ESC는 우수한 절연 특성과 정전기 제어 능력을 갖추고 있어, 고정밀 공정 환경에서 안정적인 성능을 보장하며, 다양한 패널 제조 라인에 적용되고 있습니다.

• 정전척
• 디스플레이제조
• 웨이퍼고정
• 반도체공정
• 패널장비

미코의 반도체 부품 세정 및 코팅 서비스는 첨단 세정·코팅 기술을 활용하여 공정 중 오염된 장비 부품의 수명을 연장하고, 미세 오염 제어 및 표면 품질을 극대화합니다. 고객 맞춤형 세정 레시피와 자동화된 스마트 팩토리 시스템을 통해 신속하고 친환경적인 서비스를 제공합니다.

• 반도체세정
• 부품재생
• 코팅서비스
• 공정오염제어
• 스마트팩토리