하나머티리얼즈(주)

하나머티리얼즈의 Silicon Electrode & Ring은 반도체 제조공정 중 Dry Etching(식각) 공정에 필수적으로 사용되는 핵심 소모성 부품입니다. 고순도의 단결정 실리콘을 기반으로 제작되어, 미세 패턴 구현과 플라스마 내구성이 뛰어나며 글로벌 주요 반도체 업체에 공급되고 있습니다. 세계 최초 600mm 대구경 실리콘 잉곳 개발 기술을 바탕으로 차세대 공정 대응 및 품질 혁신을 이끌고 있습니다.

• 반도체부품
• 식각공정
• 실리콘전극
• 웨이퍼제조
• 첨단소재

SiC Ring은 초고내열성과 내플라스마 특성을 갖춘 실리콘카바이드(SiC) 소재로 제작된 에칭용 부품입니다. 극한 환경에서도 우수한 내구성과 긴 수명을 제공하며 미세화·고집적화가 요구되는 최신 반도체 공정에서 높은 신뢰성을 자랑합니다. CVD SiC 증착기술 등 독자적 가공 역량으로 글로벌 시장에서 경쟁력을 확보하고 있습니다.

• SiC부품
• 식각장비부품
• 내열소재
• 세라믹파츠
• 플라스마공정

Silicon Ingot은 고순도의 단결정 실리콘 원통 형태로 성장시킨 웨이퍼 원재료입니다. 하나머티리얼즈는 세계 최대 구경인 600mm급 잉곳 생산 기술을 보유하고 있으며 안정적인 품질과 대량생산 체계를 통해 국내외 주요 파운드리에 공급합니다. 차별화된 성장기술과 일괄생산 시스템으로 미래형 반도체 산업 발전에 기여하고 있습니다.

• 단결정실리콘
• 웨이퍼원재료
• 대구경잉곳
• 소재국산화
• 파운드리스업플라이어