코미코의 세라믹 히터는 CVD, ALD 등 반도체 증착(Deposition) 공정 장비에 장착되어 웨이퍼에 열을 균일하게 가해주는 고기능성 부품입니다. 고순도 세라믹 소재와 정밀 가공 기술을 적용하여, 높은 내구성과 우수한 온도 균일성을 자랑합니다. 이를 통해 반도체 제조 공정의 생산 수율과 장비 효율성을 극대화하며, 미세화·고집적화되는 반도체 공정에 최적화된 솔루션을 제공합니다.
미코의 세라믹 히터는 증착(CVD) 및 식각(Etch) 공정에 최적화된 고성능 부품으로, 고순도 세라믹 소재와 정밀 가공 기술을 바탕으로 뛰어난 온도 균일성과 내구성을 제공합니다. 반도체 및 디스플레이 제조 장비에 적용되어 공정 효율과 수율을 극대화하며, 국내외 주요 반도체 기업에 공급되고 있습니다.
미코세라믹스의 AIN 세라믹 히터는 알루미늄 나이트라이드(AlN) 소재를 기반으로, 반도체 증착(CVD, ALD) 공정 장비의 챔버 내에 장착되어 웨이퍼에 균일하고 정밀한 열을 공급하는 핵심 부품입니다. 고순도·고내열 특성을 바탕으로 높은 열전도율과 내구성을 제공하며, 글로벌 반도체 장비 제조사와 칩 메이커에 공급되어 공정 효율성과 생산성을 극대화합니다. 일본 등 해외 의존도가 높았던 제품의 국산화에 성공하여, 세계 일류상품 인증을 획득한 대표적 혁신 제품입니다.
AlN Heater는 반도체 화학증착(CVD) 장비에 적용되는 고성능 세라믹 히터로, 뛰어난 열전도성과 내플라즈마성을 자랑합니다. 웨이퍼의 온도를 고온에서 균일하게 유지하여 미세 공정의 정밀도를 극대화하며, 기존 소재 대비 파티클 발생이 적어 생산 수율과 장비 신뢰성을 높입니다. DRAM, NAND Flash 등 첨단 반도체 공정에서 필수적인 핵심 부품입니다.
위너테크놀로지의 MoSi₂ 발열체는 자체 기술력으로 원료 합성부터 완제품까지 생산되며, 대기 분위기에서 최대 1750℃의 초고온에서도 안정적으로 작동합니다. 이 제품은 산업용 전기로, 열처리로, 반도체 및 디스플레이 제조 공정 등 다양한 분야에서 고효율·고내구성의 발열 솔루션을 제공합니다. 세계 3대 MoSi₂ 발열체 제조사 중 하나로, 국내 유일의 국산화 성공 기업입니다.
AlN(질화알루미늄) 세라믹 히터는 반도체 공정에서 웨이퍼를 직접 핸들링하는 핵심 부품으로, 고순도·고내열성 소재를 사용하여 뛰어난 열전도성과 내구성을 자랑합니다. 정밀 온도 제어가 가능해 반도체의 품질과 생산성을 극대화하며, 모든 제조 공정은 첨단 설비를 통해 100% 사내에서 이루어집니다. 반도체, 디스플레이 등 첨단 산업의 까다로운 요구를 만족시키는 최고 수준의 신뢰성을 제공합니다.
최첨단 질화알루미늄 소재와 독자적 소결·정밀 가공 기술이 적용된 보부하이테크의 세라믹 히터는 반도체 전공정 및 후공정 장비에 최적화된 내구성과 열 효율성을 제공합니다. 까다로운 공정 환경에서도 안정적인 온도 제어와 긴 수명을 자랑하며, 글로벌 반도체 기업들이 신뢰하는 고성능 핵심 부품입니다.
