(주)코미코

코미코의 세라믹 히터는 CVD, ALD 등 반도체 증착(Deposition) 공정 장비에 장착되어 웨이퍼에 열을 균일하게 가해주는 고기능성 부품입니다. 고순도 세라믹 소재와 정밀 가공 기술을 적용하여, 높은 내구성과 우수한 온도 균일성을 자랑합니다. 이를 통해 반도체 제조 공정의 생산 수율과 장비 효율성을 극대화하며, 미세화·고집적화되는 반도체 공정에 최적화된 솔루션을 제공합니다.

• 반도체장비
• 세라믹히터
• 증착공정
• 온도제어
• 고내구성

코미코의 반도체 부품 정밀세정 서비스는 반도체 제조 장비의 핵심 부품에서 발생하는 오염물과 파티클을 효과적으로 제거하여, 부품의 원상 회복과 수명 연장을 실현합니다. 고도화된 세정 공정과 품질보증 시스템을 통해 미세오염(Micro Contamination)을 제어하며, 장비의 가동률 및 생산 수율을 극대화하고 고객사의 원가 경쟁력 향상에 기여합니다.

• 반도체세정
• 미세오염제어
• 장비유지보수
• 생산수율
• 공정혁신

코미코의 특수코팅 서비스는 반도체 제조 장비 부품에 플라즈마 내식성 및 내마모성을 극대화하는 첨단 코팅 기술을 적용합니다. 이를 통해 파티클 및 결손부위를 효과적으로 제어하고, 부품의 가공성과 경량화를 실현하여 장비 성능을 향상시킵니다. 코미코의 코팅 기술은 반도체 공정의 미세화·고단화에 대응하는 최적의 솔루션입니다.

• 반도체코팅
• 내식성
• 내마모성
• 플라즈마공정
• 장비성능향상