(주)엘케이엔지니어링

최첨단 반도체 제조 공정에 필수적인 정전척(ESC)은 웨이퍼를 정밀하게 고정하고, 열 제어 및 정전기 제어 기능을 통합한 핵심 부품입니다. (주)엘케이엔지니어링은 ESC 본체, ESC Plate, ESC 전극, ESC Heater 등 다양한 설계와 3D 가공, 초음파·열화상·TC wafer 검사 등 첨단 품질관리 기술을 적용하여, 고객 맞춤형 고성능 ESC를 제공합니다. 세라믹, AlN, SiC 등 다양한 소재와 미세 입자 패턴 가공, 특수 연마, 마이크로 평탄도 가공 등 차별화된 기술력을 보유하고 있습니다.

• 반도체장비
• 정전척
• ESC
• 웨이퍼고정
• 세라믹플레이트

반도체 및 디스플레이 공정에 사용되는 고내열·고강도 세라믹 플레이트로, AlN(질화알루미늄), SiC(실리콘카바이드) 등 첨단 소재를 정밀 가공하여 뛰어난 내구성과 평탄도를 자랑합니다. 미세 입자 패턴, 특수 연마, 마이크로 평탄도 등 고난도 가공기술을 적용해, 반도체 제조 장비의 신뢰성과 생산성을 극대화합니다.

• 세라믹플레이트
• 반도체부품
• AlN
• SiC
• 정밀가공

반도체 공정 중 웨이퍼의 온도를 정밀하게 제어할 수 있도록 설계된 ESC Heater는 정전척 내부에 삽입되어 균일한 열 분포와 신속한 온도 조절을 실현합니다. 고신뢰성 소재와 첨단 설계 기술로, 반도체 제조 공정의 품질과 생산성을 높여줍니다.

• 반도체공정
• 히터
• 온도제어
• ESC히터
• 웨이퍼가열