ESC 전극은 반도체 및 디스플레이 제조 공정에서 웨이퍼를 정밀하게 고정하고 처리할 수 있도록 설계된 핵심 부품입니다. 뛰어난 절연성과 내구성을 바탕으로 플라즈마 환경에서도 안정적인 성능을 제공하며, 미세 패턴 공정의 생산성 향상과 품질 개선에 기여합니다. ICD 머트리얼즈는 첨단 소재와 독자적 가공기술을 적용하여 다양한 크기와 사양의 ESC 전극을 공급하고 있습니다.
최첨단 반도체 제조 공정에 필수적인 정전척(ESC)은 웨이퍼를 정밀하게 고정하고, 열 제어 및 정전기 제어 기능을 통합한 핵심 부품입니다. (주)엘케이엔지니어링은 ESC 본체, ESC Plate, ESC 전극, ESC Heater 등 다양한 설계와 3D 가공, 초음파·열화상·TC wafer 검사 등 첨단 품질관리 기술을 적용하여, 고객 맞춤형 고성능 ESC를 제공합니다. 세라믹, AlN, SiC 등 다양한 소재와 미세 입자 패턴 가공, 특수 연마, 마이크로 평탄도 가공 등 차별화된 기술력을 보유하고 있습니다.
SJF의 ABS/ESC 브레이크 부품은 Net-shape 및 미세내경 홀 성형 기술을 적용하여, 유압식 및 전자식 브레이크 시스템에 모두 대응합니다. 고강도와 정밀가공을 통해 차량의 제동 성능과 안전성을 높이며, 글로벌 완성차 1차 협력사에 공급되는 신뢰성 높은 핵심 부품입니다.
Electrostatic Chuck(ESC)는 반도체 식각(Etch) 공정에서 웨이퍼를 정전기력으로 고정하는 핵심 부품입니다. 고온·고압 환경에서도 안정적인 웨이퍼 고정 및 정밀 가공이 가능하며, 내화학성과 내열성이 뛰어난 세라믹 소재를 적용해 공정 효율과 생산성을 극대화합니다. 미세화·다층화되는 반도체 제조 환경에 최적화된 솔루션입니다.
반도체와 디스플레이 제조 공정에 필수적인 ESC(정전척)와 각종 파츠를 설계부터 가공, 고기능 코팅까지 일괄 제공하며, 고내구성·고순도의 표면처리 기술을 바탕으로 미세 오염 방지와 수명 연장을 실현합니다. 다양한 산업 현장에 맞춤형 솔루션을 공급하여 생산 효율성과 품질 향상에 기여합니다.
LCD 및 OLED 제조공정의 핵심 부품인 ESC(정전척)는 드라이 에칭 공정에서 기판을 하부 전극에 고정시키고 온도를 제어하는 첨단 장치로, 코리아스타텍은 일본이 독점하던 이 기술의 국산화에 성공했으며 단극유도(monopolar)와 세계 최초 대면적 양극유도(bipolar) ESC까지 자체 개발하여 디스플레이 산업 경쟁력을 높이고 있습니다.
ESC홈솔라의 태양광 모듈은 고효율 셀을 적용하여 가정용, 사업용, 주차장 등 다양한 환경에 맞춤형으로 설치할 수 있습니다. 엄격한 품질 관리와 인증을 통해 내구성과 발전 효율을 극대화했으며, RE100 등 친환경 에너지 전환을 원하는 기업과 개인 모두에게 적합한 솔루션을 제공합니다. 설치부터 유지관리까지 원스톱 서비스를 제공하여 신뢰할 수 있는 에너지 파트너로 자리매김하고 있습니다.
