AlN(질화알루미늄) 세라믹 히터는 반도체 공정에서 웨이퍼를 직접 핸들링하는 핵심 부품으로, 고순도·고내열성 소재를 사용하여 뛰어난 열전도성과 내구성을 자랑합니다. 정밀 온도 제어가 가능해 반도체의 품질과 생산성을 극대화하며, 모든 제조 공정은 첨단 설비를 통해 100% 사내에서 이루어집니다. 반도체, 디스플레이 등 첨단 산업의 까다로운 요구를 만족시키는 최고 수준의 신뢰성을 제공합니다.
AlN Heater는 반도체 화학증착(CVD) 장비에 적용되는 고성능 세라믹 히터로, 뛰어난 열전도성과 내플라즈마성을 자랑합니다. 웨이퍼의 온도를 고온에서 균일하게 유지하여 미세 공정의 정밀도를 극대화하며, 기존 소재 대비 파티클 발생이 적어 생산 수율과 장비 신뢰성을 높입니다. DRAM, NAND Flash 등 첨단 반도체 공정에서 필수적인 핵심 부품입니다.
반도체 및 디스플레이 공정에 사용되는 고내열·고강도 세라믹 플레이트로, AlN(질화알루미늄), SiC(실리콘카바이드) 등 첨단 소재를 정밀 가공하여 뛰어난 내구성과 평탄도를 자랑합니다. 미세 입자 패턴, 특수 연마, 마이크로 평탄도 등 고난도 가공기술을 적용해, 반도체 제조 장비의 신뢰성과 생산성을 극대화합니다.
미코세라믹스는 Al₂O₃, Y₂O₃, AlN, YAG 등 다양한 특수 세라믹 소재를 바탕으로, 반도체 제조 공정에 사용되는 각종 소모성 세라믹 부품을 공급합니다. 고객의 요구에 맞춘 맞춤형 설계와 고품질 생산으로, 반도체 장비의 내구성·정밀성·공정 효율을 극대화하며, 국내외 주요 반도체 장비업체와 칩 메이커에 안정적으로 공급되고 있습니다.
반도체 및 디스플레이 장비의 핵심 부품(금속, 알루미늄 나이트라이드(ALN), 실리콘 카바이드(SiC), 쿼츠, 세라믹 등)에 대한 정밀세정 서비스를 제공합니다. 오염물질을 완벽하게 제거하여 부품의 내구성과 수명을 극대화하며, 부품 이력관리를 통해 Life Time을 체계적으로 관리할 수 있습니다. 첨단 세정 공정과 품질관리로 반도체·디스플레이 산업의 생산성 향상에 기여합니다.
S-TECH의 PVT Grower System은 SiC, AlN, Ga₂O₃ 등 차세대 화합물 반도체용 단결정 성장로로, WBG(Wide Band Gap) 시장의 성장에 대응해 개발된 첨단 장비입니다. 6인치 및 8인치 크기의 단결정 성장 공정에 최적화되어 있으며, RF 파워 서플라이와 자동화 제어 시스템이 적용되어 고품질 화합물 반도체 소재 생산을 지원합니다.
미코세라믹스의 세라믹 정전척(ESC)은 반도체 제조 장비 내에서 웨이퍼를 정밀하게 고정하는 첨단 부품으로, 알루미나(Al₂O₃), 질화알루미늄(AlN) 등 고기능성 세라믹 소재를 적용하여 우수한 절연성과 내구성을 자랑합니다. 정밀한 온도 제어와 안정적인 웨이퍼 고정 성능을 제공해 반도체 미세공정의 생산성과 품질을 높이며, 글로벌 반도체 장비 시장에서 경쟁력을 인정받고 있습니다.
미코세라믹스의 AIN 세라믹 히터는 알루미늄 나이트라이드(AlN) 소재를 기반으로, 반도체 증착(CVD, ALD) 공정 장비의 챔버 내에 장착되어 웨이퍼에 균일하고 정밀한 열을 공급하는 핵심 부품입니다. 고순도·고내열 특성을 바탕으로 높은 열전도율과 내구성을 제공하며, 글로벌 반도체 장비 제조사와 칩 메이커에 공급되어 공정 효율성과 생산성을 극대화합니다. 일본 등 해외 의존도가 높았던 제품의 국산화에 성공하여, 세계 일류상품 인증을 획득한 대표적 혁신 제품입니다.
최첨단 반도체 제조 공정에 필수적인 정전척(ESC)은 웨이퍼를 정밀하게 고정하고, 열 제어 및 정전기 제어 기능을 통합한 핵심 부품입니다. (주)엘케이엔지니어링은 ESC 본체, ESC Plate, ESC 전극, ESC Heater 등 다양한 설계와 3D 가공, 초음파·열화상·TC wafer 검사 등 첨단 품질관리 기술을 적용하여, 고객 맞춤형 고성능 ESC를 제공합니다. 세라믹, AlN, SiC 등 다양한 소재와 미세 입자 패턴 가공, 특수 연마, 마이크로 평탄도 가공 등 차별화된 기술력을 보유하고 있습니다.
