실리콘 산화물(SiO) 음극재는 기존 흑연 대비 10배 이상의 이론 용량을 제공하여 전기차 배터리의 주행거리와 충전 속도를 획기적으로 개선하는 첨단 2차전지 소재입니다. 이녹스에코엠은 독자적인 실리콘 재생 기술을 바탕으로 고순도 SiO를 대량 생산하며, 글로벌 고객사와의 협업을 통해 전기차 및 에너지저장장치(ESS) 시장의 혁신을 선도합니다. 베트남 하이퐁과 충남 아산에 생산거점을 보유하고, 연간 수천 톤 규모의 생산능력을 갖추고 있습니다.
이녹스에코엠은 실리콘(Si), 실리콘 산화물(SiO), 실리콘 카바이드(SiC) 등 다양한 실리콘 기반 음극재 소재를 개발·생산합니다. 이들 소재는 2차전지, 전기차, 반도체, 태양광 등 첨단산업에 적용되며, 높은 기계적 강도와 화학적 안정성, 우수한 전기적 특성을 제공합니다. 고객 맞춤형 소재 공급을 통해 글로벌 시장에서 경쟁력을 강화하고 있습니다.
TWVME-SIO는 VME Bus System 기반의 시리얼 통신장치로 동기/비동기 인터페이스를 제공하며 각종 PLC 무선제어나 분산제어(DCS), 자료집중장치와 연동이 가능합니다. 현장 데이터의 신속한 수집과 중앙 시스템 전송을 통해 공정 자동화와 설비 모니터링 효율을 극대화합니다.
BTBAS는 CVD/ALD 공정을 통한 SiO₂ 박막 증착용 실리콘계 전구체로, 차세대 반도체의 게이트 절연막 및 인터레이어 디엘렉트릭 등에 폭넓게 활용됩니다. 우수한 열적 안정성과 낮은 금속 불순물 함량으로 초미세 회로 구현에 적합하며, 대량생산 라인에서도 일관된 품질과 높은 생산성을 제공합니다.
EMI Shield용 Sputtering System은 고균일 박막 두께(≤0.5%@40nm) 구현과 높은 생산성을 자랑하는 첨단 증착 장비입니다. 다양한 금속(Ti, Al, Cu 등) 및 산화물(SiO₂ 등)을 웨이퍼와 글라스 기판에 정밀하게 증착할 수 있으며, 클러스터 타입 시스템으로 자동화된 진공 로봇 이송 및 플라즈마 처리 옵션을 제공합니다. 반도체, LED, SAW 필터 등 첨단 전자부품 제조 공정에 최적화되어 있습니다.
㈜주문진규사가 생산하는 주문진 규사는 국내 유일의 KS 표준 규사로, 고순도 SiO₂ 함량과 균일한 입도, 우수한 내구성을 자랑합니다. 주로 주물, 유리, 건설, 여과재 등 다양한 산업 분야에 공급되며, 장기간 국내외 수요기관에서 최상품으로 인정받고 있습니다. 채취 심도와 공정에 따라 백색, 황색, 황갈색 등 다양한 색상을 제공하며, 품질 관리와 안정적인 공급망을 통해 고객 신뢰를 얻고 있습니다.
