SiC Ring은 초고내열성과 내플라스마 특성을 갖춘 실리콘카바이드(SiC) 소재로 제작된 에칭용 부품입니다. 극한 환경에서도 우수한 내구성과 긴 수명을 제공하며 미세화·고집적화가 요구되는 최신 반도체 공정에서 높은 신뢰성을 자랑합니다. CVD SiC 증착기술 등 독자적 가공 역량으로 글로벌 시장에서 경쟁력을 확보하고 있습니다.
CVD SiC 코팅 부품은 화학기상증착(CVD) 기술을 활용해 표면에 실리콘카바이드(SiC) 코팅을 적용한 고내식성·고내열성 부품입니다. 반도체 및 디스플레이 제조 장비의 수명을 연장하고, 극한 환경에서도 안정적인 성능을 제공합니다. 티씨케이의 독자적인 코팅 기술로 생산되어, 글로벌 반도체 장비 시장에서 높은 평가를 받고 있습니다.
DS Silicon & SiC Precision Parts는 실리콘(Si) 및 실리콘카바이드(SiC) 소재를 활용한 고내구성·고정밀 부품입니다. 극한의 온도와 화학적 환경에서도 안정적으로 작동하며 주로 반도체 장비의 핵심 소모품으로 사용됩니다. 맞춤형 설계와 첨단 가공 기술을 통해 고객사의 생산 효율과 품질 향상에 기여합니다.