ATOMIC PREMIUM은 반도체 공정에 필수적인 원자층박막증착(Atomic Layer Deposition, ALD) 장비로, 박막 두께를 원자 단위로 정밀하게 제어할 수 있습니다. 써멀 및 플라즈마 강화(PE) 방식 모두 지원하며, 균일하고 순도 높은 박막을 저온에서 증착해 메모리칩·트랜지스터 등 첨단 소자의 성능 향상에 기여합니다. 고객 맞춤형 설계와 신속한 엔지니어링 서비스가 강점이며, OLED 디스플레이·이차전지 소재 코팅 등 다양한 첨단 산업에도 적용되고 있습니다.