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ATOMIC PREMIUM은 반도체 공정에 필수적인 원자층박막증착(Atomic Layer Deposition, ALD) 장비로, 박막 두께를 원자 단위로 정밀하게 제어할 수 있습니다. 써멀 및 플라즈마 강화(PE) 방식 모두 지원하며, 균일하고 순도 높은 박막을 저온에서 증착해 메모리칩·트랜지스터 등 첨단 소자의 성능 향상에 기여합니다. 고객 맞춤형 설계와 신속한 엔지니어링 서비스가 강점이며, OLED 디스플레이·이차전지 소재 코팅 등 다양한 첨단 산업에도 적용되고 있습니다.

• ALD장비
• 반도체공정
• 박막증착기술
• OLED코팅장비
• 이차전지소재

Mini-Batch ALD System은 대면적 웨이퍼 및 디스플레이 소재의 고품질 봉지막 코팅을 위한 특화된 장비입니다. 최대 12인치까지 대응 가능하며 컴팩트한 설계와 효율적인 생산성을 갖추고 있어 연구개발부터 양산까지 폭넓게 활용됩니다. 특히 OLED 마이크로디스플레이 봉지막 형성 분야에서 국내외 기업 및 연구기관에 공급되고 있으며 파우더 코팅 등 다양한 응용 분야에도 적합합니다.

• 미니배치ALD
• OLED봉지막코팅
• 대면적웨이퍼장비
• 디스플레이소재공정
• 파우더코팅기술

Powder ALD Coating Equipment는 이차전지 양극재·음극재 등 분말 소재 표면에 나노미터 두께의 균일한 박막을 증착하는 특화 시스템입니다. 초고순도의 기능성 표면처리가 가능하여 배터리 성능 개선과 내구성 향상에 크게 기여합니다. 국내외 배터리 소재 기업과 협력하여 양산 라인 구축 사례가 증가하고 있으며 에너지·바이오 분야에서도 응용 확대 중입니다.

• 파우더ALD코팅기술
• 이차전지양극재음극재코팅장비
• 나노표면처리시스템
• 에너지소재공정기술
• 바이오응용분야