최첨단 플라즈마 기술을 적용한 FPD Dry Etcher는 LCD, OLED 등 평판디스플레이 패널의 정밀 식각 공정에 최적화된 솔루션입니다. 고진공 프로세스 챔버와 RF 고주파 인가 방식으로 박막 증착층을 균일하게 식각하며, 대형 유리 기판에도 안정적으로 대응합니다. 자동화 시스템과 안전장치가 탑재되어 생산 효율성과 품질 향상을 동시에 실현합니다.
SAT의 FPD 본딩 시스템은 LCD, OLED, PDP 등 다양한 평판디스플레이 패널의 생산 공정에 최적화된 첨단 장비로, 고정밀 자동화 기술을 바탕으로 패널과 회로기판의 접합 공정에서 뛰어난 정밀도와 생산성을 제공합니다. 독자적인 기술력과 오랜 노하우를 바탕으로 고객 맞춤형 솔루션을 제공하며, 글로벌 디스플레이 제조사들의 핵심 생산설비로 자리매김하고 있습니다.
반도체 및 디스플레이 산업의 핵심 공정에 사용되는 세라믹 정전척은 기판을 정전기력으로 고정·흡착시켜 정밀한 가공과 고효율 생산을 실현합니다. 이지스코의 세라믹 정전척은 사파이어, 글라스 등 다양한 부도체 기판에 적용 가능하며, 높은 내전압성과 우수한 정전력으로 대면적 OLED, LCD, LED 공정에서 기판 처짐 방지 및 칩 수율 향상에 기여합니다. 4인치, 6인치 등 다양한 규격으로 제공되며, 국내 최고 수준의 기술력과 특허를 보유하고 있습니다.
금속, 산화물 반도체 등 다양한 소재를 열 증착 방식으로 박막을 형성하는 첨단 장비입니다. 인쇄전자소자 제작에 최적화되어 있으며, 산소와 수분에 민감한 유기물 소자를 질소 충진 glove box 내에서 안정적으로 제조할 수 있습니다. 자동 터치 패널 제어, 고정밀 온도 및 두께 관리, O₂/H₂O ppm 실시간 모니터링 등 최신 기능이 탑재되어 반도체·디스플레이 공정의 생산성과 품질을 극대화합니다.
(주)두민의 디스플레이 제조장비는 LCD, OLED 등 첨단 디스플레이 패널 생산에 필수적인 고정밀 공정 자동화와 품질 관리 기능을 제공합니다. 최신 센서 및 제어 기술을 적용하여 생산 라인의 효율성과 제품의 균일성을 극대화하며, 다양한 디스플레이 규격에 맞춘 유연한 설계로 글로벌 디스플레이 제조업체의 경쟁력 강화에 기여합니다.
FPA의 OCA 라미네이션 장비는 디스플레이 제조 공정에서 필수적인 광학투명접착필름(OCA) 합착을 자동화하여, 미세먼지·기포 없는 고품질 디스플레이 패널 생산을 지원합니다. 정밀 제어 기술과 자동화 솔루션이 결합되어 LCD, OLED 등 다양한 패널에 적용 가능하며, 생산 효율성과 품질을 극대화합니다.
ASTRON은 (주)포톤이 독자적으로 개발한 4층 세정챔버 반도체 세정장비로, 파티클 발생 없는 로봇 시스템, 초정밀 고속 기판 이송, 고정밀 케미컬 분사 및 농도/온도 제어 등 첨단 기술이 집약된 장비입니다. 고청정 기류제어와 세정공정 최적화 기술을 통해 반도체 제조 공정의 효율성과 품질을 극대화하며, OLED 등 첨단 디스플레이 공정에도 적용 가능합니다. 관련 특허 6건을 보유하고 있으며, 고진공·고온 환경에서도 안정적인 성능을 제공합니다.
(주)오에스티투의 디스플레이 생산 공정 설비는 첨단 자동화 기술이 적용된 장비로, LCD, OLED 등 다양한 디스플레이 패널의 생산 효율성과 품질을 극대화합니다. 고객 맞춤형 설계와 고정밀 제어 시스템을 통해 대량 생산 환경에서도 안정적인 운용이 가능하며, 글로벌 디스플레이 제조사의 까다로운 요구를 충족합니다.
