기업명
(주)포톤
대표자 성함
조중근
설립일
2009-02-27
기업 규모
중소기업
소재지
충남 천안시 서북구 성거읍 망향로 271
주요 상품
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법인 번호
312-86-05902
사업자 번호
161511-0105499
직원 수
11-50 명
수출 희망 국가
주력 업종
일반저울 제조업
판매 방식
-
기업 연락처
041-621-2221

제품/서비스

  • ASTRON (아스트론) – 반도체 세정장비

    ASTRON은 (주)포톤이 독자적으로 개발한 4층 세정챔버 반도체 세정장비로, 파티클 발생 없는 로봇 시스템, 초정밀 고속 기판 이송, 고정밀 케미컬 분사 및 농도/온도 제어 등 첨단 기술이 집약된 장비입니다. 고청정 기류제어와 세정공정 최적화 기술을 통해 반도체 제조 공정의 효율성과 품질을 극대화하며, OLED 등 첨단 디스플레이 공정에도 적용 가능합니다. 관련 특허 6건을 보유하고 있으며, 고진공·고온 환경에서도 안정적인 성능을 제공합니다.

  • 초박형 알루미늄 서셉터

    초박형 알루미늄 서셉터는 균일한 온도분포와 고속 온도 제어가 가능한 첨단 부품으로, 반도체 및 디스플레이 제조 공정에서 핵심적인 역할을 합니다. 고진공·고온 환경에서도 뛰어난 내구성과 정밀도를 자랑하며, 탄소나노튜브 히터와 결합하여 에너지 효율과 공정 신뢰성을 높입니다. 관련 등록특허 12건을 보유하고 있습니다.

  • 고진공 고온 챔버 (OLED)

    고진공 고온 챔버는 OLED 및 반도체 공정에 특화된 장비로, 극한의 진공과 고온 환경에서도 안정적인 공정 제어가 가능합니다. 균일한 온도분포와 고속 온도 제어, 진공 물류시스템 등 첨단 기술이 적용되어 고품질의 박막 증착 및 세정 공정에 최적화되어 있습니다. 다양한 반도체 및 디스플레이 제조 라인에 적용할 수 있습니다.

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