AP시스템의 ELA 시스템은 저온 다결정 실리콘(LTPS) 공정에 최적화된 첨단 레이저 열처리 장비로, 세계 최고 수준의 레이저·광학·체임버 기술을 통합하여 고품질의 LTPS TFT를 구현합니다. AMOLED 백플레인 및 LTPS LCD 제조에 필수적이며, 대면적·고해상도 디스플레이 패널 생산에 최적화된 솔루션을 제공합니다.
AMOLED 증착 공정에서 R, G, B 유기물의 정밀 패턴 형성을 위해 사용되는 핵심 장비입니다. LTPS 패턴과 3μm 이내 위치결정이 가능한 Mask Frame Assembly를 구현하며, FMM(파인 메탈 마스크) 및 Align Mask 용접에 적용됩니다. 고도의 장력 제어와 정밀한 위치 결정 기술을 바탕으로 글로벌 OLED 패널 제조사에 공급되고 있습니다.
고해상도 LTPS LCD 및 AMOLED 생산에 최적화된 6세대/8세대 프리컴팩션 장비는 유리기판의 백사이드 스크래치와 파티클을 효과적으로 제어하며, 멀티슬롯 배치형 퍼니스 기술로 최대 12장의 유리기판 동시 처리와 온도 안정화, 기판 변형 최소화를 실현합니다. 첨단 로봇 이송 시스템과 챔버 내 급속 온도 제어 기능으로 대량 생산성과 품질 신뢰성을 극대화한 차세대 디스플레이 제조 핵심 설비입니다.
