(주)비아트론

고해상도 LTPS LCD 및 AMOLED 생산에 최적화된 6세대/8세대 프리컴팩션 장비는 유리기판의 백사이드 스크래치와 파티클을 효과적으로 제어하며, 멀티슬롯 배치형 퍼니스 기술로 최대 12장의 유리기판 동시 처리와 온도 안정화, 기판 변형 최소화를 실현합니다. 첨단 로봇 이송 시스템과 챔버 내 급속 온도 제어 기능으로 대량 생산성과 품질 신뢰성을 극대화한 차세대 디스플레이 제조 핵심 설비입니다.

• AMOLED
• LCD제조장비
• 유리기판장비
• 디스플레이공정
• 열처리설비

INLINE Type 장비는 수평 이동 방식으로 Glass 기판을 각 챔버에서 고온(0~800℃) 영역에서 빠르게 처리할 수 있는 첨단 열처리 시스템입니다. 개별 Glass를 신속하게 연속 공정하며 균일한 품질과 높은 생산성을 제공하여 OLED 및 LCD 등 다양한 디스플레이 패널 제조 라인에 최적화되어 있습니다.

• OLED열처리장비
• 인라인시스템
• 패널제조공정
• 자동화설비
• 산업용가열장치

Laser Bonder System(LAB)은 VCSEL 레이저 기반 면 조사 기술로 기판 공간 전체에 균일한 레이저 에너지를 전달하여 리플로우 및 솔더링 본딩 공정을 수행합니다. 미세 회로 접합과 고신뢰성 본딩이 필요한 반도체·디스플레이 패널 제조 현장에서 정밀성과 효율성을 동시에 만족시키는 혁신적인 본딩 솔루션입니다.

• 레이저본더시스템
• 반도체패키징장비
• 미세접합공정
• VCSEL레이저응용
• 전자부품제조설비