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고순도 흑연 부품은 반도체, 태양전지, LED 등 첨단 산업의 제조 공정에 필수적인 핵심 소재입니다. 티씨케이는 국내 유일의 일괄 생산 시스템을 갖추고, 고순도·고강도 흑연을 정밀 가공하여 고객 맞춤형 부품을 제공합니다. 우수한 내열성, 내화학성, 전기전도성을 바탕으로 반도체 공정의 안정성과 생산성을 높입니다.

Etching & Ashing System은 반도체·LED·SAW 필터 등 다양한 재료의 식각 및 제거 공정을 위한 장비입니다. 고밀도의 플라즈마를 활용해 Si-Oxide 식각과 PR 애싱 등 미세 가공이 가능하며, 컴팩트한 디자인과 우수한 처리량으로 생산라인 최적화를 지원합니다. PC 기반 자동제어와 클러스터 타입 구조로 높은 신뢰성과 효율성을 제공합니다.