세계 시장 점유율 1위를 자랑하는 DMS의 HDC(고집적 세정 장비)는 LCD 및 OLED 패널 제조 공정에서 기판 표면의 미세 오염물질을 완벽하게 제거하는 첨단 습식 세정 솔루션입니다. 독자적인 기술력으로 높은 생산성과 품질 안정성을 실현하며, 글로벌 디스플레이 제조사에 독점 공급되는 세계일류상품입니다.
Laser GCM은 세계 최초로 개발된 비접촉식 레이저 유리 절단 시스템으로, TFT-LCD 및 OLED 생산공정에서 원판 유리를 정밀하게 절단합니다. 기존 다이아몬드 휠 방식 대비 미세커팅과 정밀한 절단면 구현이 가능하며, Scribe와 Breaking 공정을 통합해 생산 효율성과 품질을 극대화합니다. OLED 공정 및 첨단 디스플레이 소재업체에 적용되는 핵심 장비입니다.
최첨단 플라즈마 기술을 적용한 FPD Dry Etcher는 LCD, OLED 등 평판디스플레이 패널의 정밀 식각 공정에 최적화된 솔루션입니다. 고진공 프로세스 챔버와 RF 고주파 인가 방식으로 박막 증착층을 균일하게 식각하며, 대형 유리 기판에도 안정적으로 대응합니다. 자동화 시스템과 안전장치가 탑재되어 생산 효율성과 품질 향상을 동시에 실현합니다.
싸이노스는 반도체 및 LCD 전자제품 제조에 필수적인 첨단 장비를 공급합니다. 고도의 정밀성과 신뢰성을 갖춘 장비는 생산 공정의 효율성과 품질을 극대화하며, 고객 맞춤형 설계와 A/S 지원을 통해 산업 현장의 다양한 요구에 유연하게 대응합니다. 최신 기술이 적용된 장비로 글로벌 반도체 시장에서 경쟁력을 확보하고 있습니다.
YHS-04W는 LCD/OLED 등 대규모 디스플레이 제조공정에 특화된 히트 웻 스크러버 시스템입니다. 다량의 공정가스를 효율적으로 세정·처리하며 내구성과 안정성이 뛰어나 장시간 연속 운전에 적합합니다. 최적화된 열교환 및 습식 세정 기술로 미세먼지와 유해물질 배출을 최소화하여 클린룸 환경 유지에 기여합니다.
고해상도 LTPS LCD 및 AMOLED 생산에 최적화된 6세대/8세대 프리컴팩션 장비는 유리기판의 백사이드 스크래치와 파티클을 효과적으로 제어하며, 멀티슬롯 배치형 퍼니스 기술로 최대 12장의 유리기판 동시 처리와 온도 안정화, 기판 변형 최소화를 실현합니다. 첨단 로봇 이송 시스템과 챔버 내 급속 온도 제어 기능으로 대량 생산성과 품질 신뢰성을 극대화한 차세대 디스플레이 제조 핵심 설비입니다.
LCD 및 OLED 제조공정의 핵심 부품인 ESC(정전척)는 드라이 에칭 공정에서 기판을 하부 전극에 고정시키고 온도를 제어하는 첨단 장치로, 코리아스타텍은 일본이 독점하던 이 기술의 국산화에 성공했으며 단극유도(monopolar)와 세계 최초 대면적 양극유도(bipolar) ESC까지 자체 개발하여 디스플레이 산업 경쟁력을 높이고 있습니다.
