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 EUV마스크  제품/서비스 검색 결과 : 1

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EUV Mask Baking Laser(주)아이엠티
EUV마스크레이저베이킹반도체공정마스크클리닝첨단장비
EUV Mask Baking Laser는 반도체 EUV(극자외선) 노광 공정에 사용되는 마스크의 표면 품질을 극대화하기 위한 특수 레이저 베이킹 장비입니다. 레이저 빔의 에너지 프로파일을 정밀하게 제어하여 마스크 표면의 오염물 및 결함을 효과적으로 제거하고, 마스크의 내구성과 신뢰성을 높여 첨단 반도체 제조 공정의 수율 향상에 기여합니다. 글로벌 반도체 기업과의 공동 개발을 통해 기술력을 인정받고 있으며, EUV 공정의 핵심 장비로 자리매김하고 있습니다.
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