(주)아이엠티
레이저와 CO₂ 건식세정 기술로 반도체·첨단 IT산업의 혁신을 선도합니다.
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EUV Mask Baking Laser는 반도체 EUV(극자외선) 노광 공정에 사용되는 마스크의 표면 품질을 극대화하기 위한 특수 레이저 베이킹 장비입니다. 레이저 빔의 에너지 프로파일을 정밀하게 제어하여 마스크 표면의 오염물 및 결함을 효과적으로 제거하고, 마스크의 내구성과 신뢰성을 높여 첨단 반도체 제조 공정의 수율 향상에 기여합니다. 글로벌 반도체 기업과의 공동 개발을 통해 기술력을 인정받고 있으며, EUV 공정의 핵심 장비로 자리매김하고 있습니다.
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