반도체 전공정 자동화를 위한 EFEM ATM(Vacuum Transfer Module)/VTM(Robot Transfer Module)은 웨이퍼의 정밀 이송 및 처리 효율을 극대화하는 핵심 부품입니다. 고강성 프레임 구조와 첨단 제어박스 일괄 제작 역량을 바탕으로 Lam Research 등 글로벌 반도체 장비사에 공급되고 있으며, 고객 맞춤 사양 대응 및 리퍼비시 서비스까지 제공하여 생산성과 신뢰도를 높였습니다.
이 모듈은 EFEM(Equipment Front End Module)에 부착되어 불활성 가스를 활용해 무색무취의 레지드 가스를 정밀하게 제거함으로써 웨이퍼 표면 결점 발생을 최소화합니다. PIV 유동 촬영기법 등 첨단 해석 기술을 적용해 환경 흐름을 최적화했으며, 최대 50개까지 웨이퍼 보관 및 개별 제어가 가능하도록 설계되었습니다. 세계 최초로 개발된 이 시스템은 경쟁사 대비 독보적인 성능과 효율성을 인정받고 있습니다.
JFS는 세계 최초의 기류 제어 기반 EFEM(Equipment Front End Module) 부착형 습도저감 모듈로서 추가 유틸리티 없이 간편하게 설치할 수 있습니다. FOUP 내부습도를 1% 이하까지 제어해 미세공정 환경에서 발생할 수 있는 이물성 및 Defect를 차단하여 생산수율과 품질 안정성을 극대화합니다.
