기업명
피코앤테라(주)
대표자 성함
우범제
설립일
2011-07-25
기업 규모
중소기업
소재지
경기 수원시 영통구 덕영대로1556번길 16, B동 1002호
주요 상품
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법인 번호
135-86-17096
사업자 번호
135811-0200146
직원 수
11-50 명
수출 희망 국가
주력 업종
반도체 제조용 기계 제조업
판매 방식
-
기업 연락처
031-303-5757-8

제품/서비스

  • Fume Free System (FFS2000)

    FFS2000은 반도체 제조공정에서 발생하는 웨이퍼 표면의 잔류가스를 효과적으로 제거하여 불량률을 현저히 낮추는 첨단 장치입니다. 플라즈마 공정 후 웨이퍼에 남아있는 오염물질을 신속하게 처리하며, 모듈형 설계로 기존 장비에 손쉽게 부착할 수 있어 설치 공간 및 생산공정 추가 없이 효율적인 환경 제어가 가능합니다. 최소 Foot Print를 차지하면서 주변 장비의 수명 연장에도 기여하며, 국내외 대형 반도체 업체에 공급되고 있습니다.

  • 300mm 웨이퍼 레지드 가스 제거 모듈

    이 모듈은 EFEM(Equipment Front End Module)에 부착되어 불활성 가스를 활용해 무색무취의 레지드 가스를 정밀하게 제거함으로써 웨이퍼 표면 결점 발생을 최소화합니다. PIV 유동 촬영기법 등 첨단 해석 기술을 적용해 환경 흐름을 최적화했으며, 최대 50개까지 웨이퍼 보관 및 개별 제어가 가능하도록 설계되었습니다. 세계 최초로 개발된 이 시스템은 경쟁사 대비 독보적인 성능과 효율성을 인정받고 있습니다.

  • 웨이퍼 세정 및 공정 환경 제어장치

    피코앤테라는 KOFAS2016 등 산업 전시회에서 주력으로 선보인 ‘웨이퍼 세정 및 공정 환경 제어장치’를 통해 반도체 생산라인 내 오염물질 관리와 이상반응 억제를 실현합니다. 본 장치는 공정을 마친 후 발생되는 오염 문제를 최소화하고 주변 장비 관리에도 탁월한 효과를 제공하여 전체 라인의 수명 연장과 생산성 향상에 크게 기여합니다.

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