MST ENGINEERING은 반도체와 디스플레이 산업 현장에 필요한 CVD(화학기상증착), Diffusion(확산) 등 전후공정 특수 장비를 맞춤 설계·제작합니다. 대형 크린룸에서의 설치부터 시운전까지 원스톱 서비스를 제공하며 IPC 인증을 획득한 전장 Box 조립과 케이블 제작까지 토탈 솔루션을 지원합니다.
RFHIC의 마이크로웨이브 플라즈마 발생 시스템은 첨단 반도체 공정(CVD), 의료 암 치료기 및 배터리 소재 제조 등 다양한 산업 현장에서 활용됩니다. 독자적인 RF 및 마이크로웨이브 기술력을 바탕으로 균일하고 강력한 플라즈마를 생성해 생산성과 품질 향상을 지원하며 산업용·연구용 모두에 적합합니다.