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CMP Retainer Ring은 반도체 웨이퍼 평탄화 공정(CMP)에 필수적으로 사용되는 핵심 소모성 부품입니다. (주)윌비에스엔티는 독자적인 소재 개발과 정밀 가공기술을 바탕으로 고내구성, 고정밀도의 리테이너 링을 생산하며, 국내외 주요 반도체 제조사에 공급하고 있습니다. 뛰어난 내마모성과 일관된 품질로 글로벌 시장에서 경쟁력을 인정받고 있습니다.

케이씨텍의 배치 웨트 세정장치는 반도체 제조 현장에서 발생하는 미세 오염물(파티클, 금속 불순물 등)을 300mm 실리콘 웨이퍼 양면에서 효과적으로 제거합니다. 여러 장의 웨이퍼를 동시에 다양한 약액 처리와 순수 세척, Hot IPA 건조 공정을 거쳐 고효율·고청정도를 구현하며, 공정 라인 공간 배치에 유연하게 대응할 수 있습니다. 개별 챔버 방식으로 사이클 타임 단축과 균일성 향상, 오염 방지 기능까지 갖춘 첨단 장비입니다.