3D MEMS Probe Card는 첨단 마이크로 전자기계 시스템(MEMS) 기술을 기반으로 개발된 반도체 검사용 인터페이스 장치입니다. 이 제품은 반도체 전공정이 완료된 칩의 전기적 특성을 정밀하게 검사할 수 있도록 설계되어, 칩 내부 전기소자와 테스터를 연결해 고속(500MHz 이상) 신호 처리와 불량 칩 선별을 지원합니다. 고신뢰성, 고정밀, 대량 생산에 최적화되어 있으며, 반도체 산업의 품질 향상과 생산성 증대에 기여합니다.
레이트론의 MEMS 기반 압력센서는 미세전자기계시스템(MEMS) 기술을 적용하여 정밀한 압력 측정과 신속한 응답성을 자랑합니다. 산업·자동차·바이오 분야에서 활용되며 소형화 및 고내구성 설계로 다양한 환경에서 안정적인 성능을 제공합니다. 고객 맞춤형 솔루션 제공과 품질경영 시스템으로 신뢰성을 확보하였습니다.
미세전자기계시스템(MEMS) 공정을 활용하여 마이크로폰·가속도센서·회전축센서 등 초소형 정밀 센서를 양산합니다. MEMS 마이크로폰은 스마트 디바이스 및 IoT 기기에 탁월한 음성 인식 성능을 제공하며, 카메라 자동초점이나 오실레이터 등 첨단 응용분야에도 폭넓게 적용됩니다.
두산의 MEMS 타이밍 솔루션은 단일 제품으로 Dual output을 제공하는 MEMS Oscillator로, 외부 충격 및 전자파에 대한 높은 내구성과 낮은 소비 전력, 설계 단순화, PCB 공간 및 비용 절감 효과를 갖춘 첨단 부품입니다. 스마트 디바이스, 네트워크 장비, 산업용 전자기기 등 다양한 분야에서 정밀한 타이밍 제어와 신뢰성을 요구하는 고객에게 최적의 솔루션을 제공합니다.
초소형 정밀기계(MEMS) 기술을 적용한 마이크로투나노의 MEMS 프로브카드는 반도체 웨이퍼의 전기적 특성 및 내구성 검사를 위한 핵심 부품입니다. 웨이퍼 상의 칩과 자동화테스트장비(ATE)를 연결하여 고집적 NAND, HBM, DRAM 등 메모리 반도체의 불량을 신속·정확하게 선별하며, SK하이닉스 등 글로벌 반도체 기업에 공급되고 있습니다. 맞춤형 설계와 높은 내구성, 미세 정렬 기술로 반도체 수율 향상과 생산 효율 극대화에 기여합니다.
초소형·고정밀 MEMS 기반 자이로센서 MS23G10은 자동차, 로봇, 드론 등 다양한 산업 분야에서 정밀 위치 및 자세 측정을 지원합니다. 자체 개발된 MEMS 기술과 신뢰성 높은 설계가 적용되어 내구성과 정확도가 뛰어나며, 군수 및 민간용 모빌리티에 최적화된 고성능 솔루션입니다.
초정밀 MEMS 공정으로 제작된 프로브 유닛은 OLED, TFT-LCD, u-LED 등 다양한 평판디스플레이 패널의 불량 판독 및 품질 검증에 최적화된 핵심 부품입니다. 삼성디스플레이, LG디스플레이 등 국내외 대형 디스플레이 제조사에 공급되며, 고해상도와 신뢰성, 미세 접촉 특성을 바탕으로 전체 매출의 70% 이상을 차지하는 대표 제품입니다.
