반도체 제조 공정에 최적화된 고성능 히터로, 정밀한 온도 제어와 내구성을 자랑합니다. 다양한 반도체 및 평판디스플레이(FPD) 장비에 적용되며, 균일한 열 분포와 신속한 온도 상승, 에너지 효율성을 제공합니다. 고객 맞춤형 설계와 엄격한 품질 관리로 반도체 생산 라인의 생산성과 신뢰성을 높여줍니다.
반도체 제조 공정의 핵심인 CMP(화학기계적 연마) 장비에 적용되는 히터자켓 CMP는 정밀 온도 제어를 통해 웨이퍼 연마 공정의 품질과 생산성을 극대화합니다. 고효율 열전달과 내구성, 그리고 자동화 설계로 반도체 생산라인의 안정성과 효율성을 보장하며, 다양한 글로벌 반도체 제조 환경에 최적화된 솔루션을 제공합니다.
미코의 세라믹 히터는 증착(CVD) 및 식각(Etch) 공정에 최적화된 고성능 부품으로, 고순도 세라믹 소재와 정밀 가공 기술을 바탕으로 뛰어난 온도 균일성과 내구성을 제공합니다. 반도체 및 디스플레이 제조 장비에 적용되어 공정 효율과 수율을 극대화하며, 국내외 주요 반도체 기업에 공급되고 있습니다.