(주)티에스시

반도체 제조 공정의 핵심인 CMP(화학기계적 연마) 장비에 적용되는 히터자켓 CMP는 정밀 온도 제어를 통해 웨이퍼 연마 공정의 품질과 생산성을 극대화합니다. 고효율 열전달과 내구성, 그리고 자동화 설계로 반도체 생산라인의 안정성과 효율성을 보장하며, 다양한 글로벌 반도체 제조 환경에 최적화된 솔루션을 제공합니다.

• 반도체장비
• CMP
• 온도제어
• 웨이퍼연마
• 산업자동화

TSC의 시스템컨트롤러는 반도체 및 디스플레이 제조라인의 자동화와 정밀 제어를 실현하는 핵심 장비로, 다양한 센서 및 액추에이터와의 호환성을 바탕으로 생산공정의 실시간 모니터링과 제어, 데이터 수집 및 분석 기능을 제공합니다. 고신뢰성 설계와 사용자 맞춤형 인터페이스로 생산성 향상과 품질관리에 기여합니다.

• 시스템제어
• 반도체공정
• 자동화
• 산업제어
• 디스플레이장비