반도체 제조 공정의 핵심인 CMP(화학기계적 연마) 장비에 적용되는 히터자켓 CMP는 정밀 온도 제어를 통해 웨이퍼 연마 공정의 품질과 생산성을 극대화합니다. 고효율 열전달과 내구성, 그리고 자동화 설계로 반도체 생산라인의 안정성과 효율성을 보장하며, 다양한 글로벌 반도체 제조 환경에 최적화된 솔루션을 제공합니다.
정밀한 온도 제어가 필요한 반도체 및 디스플레이 제조 공정에 최적화된 HEATER JACKET은 배관, 밸브, 챔버 등 다양한 설비에 맞춤 적용이 가능하며, 고효율 단열 및 균일한 열 분포로 공정 안정성과 생산성을 극대화합니다. 자동화 설계 시스템을 도입해 제품 표준화와 신속한 납품이 가능하며, 고객 맞춤형 사양 대응이 뛰어납니다.