코미코의 세라믹 히터는 CVD, ALD 등 반도체 증착(Deposition) 공정 장비에 장착되어 웨이퍼에 열을 균일하게 가해주는 고기능성 부품입니다. 고순도 세라믹 소재와 정밀 가공 기술을 적용하여, 높은 내구성과 우수한 온도 균일성을 자랑합니다. 이를 통해 반도체 제조 공정의 생산 수율과 장비 효율성을 극대화하며, 미세화·고집적화되는 반도체 공정에 최적화된 솔루션을 제공합니다.
미코의 세라믹 히터는 증착(CVD) 및 식각(Etch) 공정에 최적화된 고성능 부품으로, 고순도 세라믹 소재와 정밀 가공 기술을 바탕으로 뛰어난 온도 균일성과 내구성을 제공합니다. 반도체 및 디스플레이 제조 장비에 적용되어 공정 효율과 수율을 극대화하며, 국내외 주요 반도체 기업에 공급되고 있습니다.
최첨단 질화알루미늄 소재와 독자적 소결·정밀 가공 기술이 적용된 보부하이테크의 세라믹 히터는 반도체 전공정 및 후공정 장비에 최적화된 내구성과 열 효율성을 제공합니다. 까다로운 공정 환경에서도 안정적인 온도 제어와 긴 수명을 자랑하며, 글로벌 반도체 기업들이 신뢰하는 고성능 핵심 부품입니다.