플라즈마전원모듈  제품/서비스 검색 결과 : 1건

RF Generator는 플라즈마 발생에 필요한 고주파 전력을 안정적으로 공급하는 전원장치입니다. 정밀한 출력 제어와 높은 에너지 효율을 바탕으로 Etch 및 CVD 등 첨단 박막 제조 공정을 지원하며, Matching Network와 연동하여 최적의 임피던스 매칭과 전력 전달 효율을 실현합니다. 삼성전자 등 글로벌 고객사에 채택되어 품질과 기술력을 인정받고 있습니다.