(주)뉴파워프라즈마

RPG(Remote Plasma Generator)는 반도체 및 디스플레이 박막 증착(CVD), 식각(Dry Etch), 세정 등 다양한 공정에서 챔버 내 잔존 부산물을 플라즈마로 분해·제거하는 핵심 장비입니다. 챔버 외부에서 플라즈마를 생성하여 내부로 공급함으로써, 공정 효율과 생산성을 높이고 불순물 축적에 따른 장비 오염을 최소화합니다. 글로벌 Top-tier 반도체·디스플레이 제조사에 공급되며, 높은 신뢰성과 안정성으로 세계 시장 점유율 1위를 기록하고 있습니다.

• 플라즈마세정기
• 반도체공정장비
• CVD공정
• DryEtch공정
• 클린룸설비

RF Generator는 플라즈마 발생에 필요한 고주파 전력을 안정적으로 공급하는 전원장치입니다. 정밀한 출력 제어와 높은 에너지 효율을 바탕으로 Etch 및 CVD 등 첨단 박막 제조 공정을 지원하며, Matching Network와 연동하여 최적의 임피던스 매칭과 전력 전달 효율을 실현합니다. 삼성전자 등 글로벌 고객사에 채택되어 품질과 기술력을 인정받고 있습니다.

• RF전원장치
• 고주파발생기
• 플라즈마전원모듈
• 반도체제조설비
• 산업용전력공급기

PPS는 반도체·디스플레이 제조 중 발생하는 환경규제 물질(미반응 가스 및 유해 부산물)을 친환경적으로 처리하는 신제품입니다. 상하부 챔버와 진공펌프 구간에서 배출되는 각종 불순물을 플라즈마 단계에서 분해하여 NOx 등의 환경오염물질 발생을 억제하며 펌프 수명 연장에도 기여합니다. 강화되는 환경규제 대응이 필수인 글로벌 팹(Fab)에 적합한 솔루션입니다.

• 배기가스크린징시스템
• 친환경반도체설비
• 미반응가스처리기술
• NOx저감솔루션
• 클린팩토리솔루션