플라즈마세정기  제품/서비스 검색 결과 : 1건

RPG(Remote Plasma Generator)는 반도체 및 디스플레이 박막 증착(CVD), 식각(Dry Etch), 세정 등 다양한 공정에서 챔버 내 잔존 부산물을 플라즈마로 분해·제거하는 핵심 장비입니다. 챔버 외부에서 플라즈마를 생성하여 내부로 공급함으로써, 공정 효율과 생산성을 높이고 불순물 축적에 따른 장비 오염을 최소화합니다. 글로벌 Top-tier 반도체·디스플레이 제조사에 공급되며, 높은 신뢰성과 안정성으로 세계 시장 점유율 1위를 기록하고 있습니다.