반도체 및 디스플레이(FPD) 제조 공정에 필수적으로 사용되는 초고순도(UHP) 밸브 시리즈는 미세 오염까지 차단하는 고청정 설계와 정밀 제어 기능을 갖추고 있습니다. 스테인리스 스틸 등 내식성 소재를 적용해 내구성과 신뢰성을 극대화했으며, 글로벌 반도체·디스플레이 장비사에 공급되어 품질과 성능을 인정받고 있습니다. 다양한 규격과 맞춤형 옵션으로 고객의 생산 효율성과 안전성을 동시에 제공합니다.
GAIA-Ⅰ/Ⅱ는 반도체 및 디스플레이 제조공정에서 발생하는 유해 배출가스를 효율적으로 정화하는 첨단 스크러버 장비입니다. 플라즈마·연소·습식 등 다양한 방식으로 가스를 처리하며, 대형 설비에도 적용 가능한 고성능 모델입니다. 차별화된 기술력으로 PM(정기점검) 주기가 길고 유지보수 비용이 절감되며, 글로벌 반도체 제조사의 까다로운 환경 기준을 충족합니다. 친환경성과 안정성을 동시에 갖춘 이 장비는 생산라인의 안전과 효율 향상에 기여합니다.
최첨단 반도체, 디스플레이, 태양광 및 2차전지 제조공정에 필수적인 LOTVAC Fore Vacuum Dry Pump는 고효율·고신뢰성의 건식 진공펌프로, 국내 최초로 독자 개발된 기술력을 바탕으로 뛰어난 내구성과 안정성을 자랑합니다. 다양한 공정 환경에서 미세먼지와 오염물질 유입을 최소화하며, 에너지 절감과 유지보수 효율성까지 실현하여 글로벌 반도체 산업의 생산성과 품질 향상에 기여합니다.
KC의 Gas Cabinet은 반도체 제조 공정에서 사용되는 고순도 특수가스를 안전하고 정밀하게 공급하는 핵심 장비입니다. 자동화된 제어 시스템과 다중 안전장치를 적용하여 가스 누출 및 오염을 방지하며, 다양한 반도체 생산라인에 맞춤형 솔루션을 제공합니다. 뛰어난 내구성과 신뢰성으로 국내외 반도체 산업 현장에서 높은 평가를 받고 있습니다.
반도체 및 디스플레이 제조공정에서 웨이퍼나 유리 기판의 표면을 정밀하게 연마하고 세척하는 첨단 장비입니다. 미세 오염물 제거와 균일한 표면 처리를 통해 제품 수율과 신뢰성을 극대화하며 다양한 크기의 소재에도 적용 가능합니다. 내구성 높은 설계와 효율적인 유지관리 시스템으로 생산라인의 경쟁력을 높여줍니다.
최첨단 PLC와 터치스크린 기반의 자동화 제어 기술을 적용한 원익홀딩스의 Gas Supply System은 반도체 및 디스플레이 제조 공정에 필수적인 초고순도 특수가스를 안전하고 정밀하게 공급합니다. 글로벌 메이저 반도체·디스플레이 업체에 납품되는 이 시스템은 신뢰성, 안정성, 효율성을 극대화하여 생산라인의 품질과 생산성을 한 차원 높여줍니다.
반도체 및 디스플레이 제조 공정에 필수적인 고순도 화학약품을 생산 장비에 안정적으로 공급하는 첨단 중앙약품공급시스템입니다. 클린룸 환경에서의 안전성과 효율성을 극대화하며, 삼성전자, SK하이닉스 등 글로벌 반도체·디스플레이 기업에 공급되고 있습니다. 에스티아이 매출의 약 90%를 차지하는 핵심 장비로, 대규모 팹(Fab) 구축 시 필수적으로 도입되는 범용 유틸리티 설비입니다.
최첨단 반도체 제조 공정에 필수적인 종형확산로(Diffusion Furnace)는 웨이퍼에 균일한 도핑 및 산화막 형성을 실현하는 고성능 장비입니다. 온도 제어, 진공 및 가스 치환 기술을 적용하여 뛰어난 품질의 박막 증착과 높은 생산성을 동시에 제공합니다. 글로벌 반도체 기업들의 까다로운 요구를 충족시키며, 신뢰성과 내구성이 입증된 국제엘렉트릭코리아의 대표 제품입니다.
SD 오일프리식 증기구동 에어콤프레셔는 청정 압축공기를 필요로 하는 식품·제약 등 클린산업 분야에 적합하도록 설계된 무급유 방식의 압축기로서 미우라만의 독자적 스팀 구동 기술이 적용되어 있습니다. 오염물질 유입 없이 안전하고 효율적으로 압축공기를 공급하며 유지관리가 간편하고 내구성이 뛰어난 것이 특징입니다.
