(주)케이씨

KC의 Gas Cabinet은 반도체 제조 공정에서 사용되는 고순도 특수가스를 안전하고 정밀하게 공급하는 핵심 장비입니다. 자동화된 제어 시스템과 다중 안전장치를 적용하여 가스 누출 및 오염을 방지하며, 다양한 반도체 생산라인에 맞춤형 솔루션을 제공합니다. 뛰어난 내구성과 신뢰성으로 국내외 반도체 산업 현장에서 높은 평가를 받고 있습니다.

• 반도체장비
• 가스공급시스템
• 클린룸설비
• 특수가스관리
• 산업자동화

Wet Station은 웨이퍼 표면의 불순물 제거와 세정 공정을 자동화한 첨단 설비입니다. 다양한 화학약품 처리와 정밀 온·습도 제어 기능을 갖추고 있어 미세 패턴 공정에 최적화되어 있습니다. 고효율 필터링 시스템과 사용자 친화적 인터페이스를 통해 생산성을 극대화하며, 글로벌 기준에 부합하는 안정성과 품질을 자랑합니다.

• 웨이퍼세정
• 반도체제조공정
• 자동세척설비
• 클린테크놀로지
• 미세전자부품

Spinless Coater는 회전 없이 균일한 박막 코팅 처리가 가능한 혁신적 장치입니다. 감광액 등 각종 화학물질 도포 시 입자 분포와 두께 편차를 최소화하여 고집적 회로 제조에 적합합니다. 비접촉 방식으로 오염 위험을 줄이고 유지보수 효율성을 높인 것이 특징이며 차별화된 코팅 품질을 제공합니다.

• 박막코팅기술
• 포토레지스트코터
• 무회전코팅시스템
• 첨단소재처리장치
• 마이크로패브리케이션