친환경반도체설비 제품/서비스 검색 결과 : 1건

아카이브	제품/서비스명	기업명	태그	설명
	PPS (Plasma Exhaust Processing System)	(주)뉴파워프라즈마	배기가스크린징시스템친환경반도체설비미반응가스처리기술NOx저감솔루션클린팩토리솔루션	PPS는 반도체·디스플레이 제조 중 발생하는 환경규제 물질(미반응 가스 및 유해 부산물)을 친환경적으로 처리하는 신제품입니다. 상하부 챔버와 진공펌프 구간에서 배출되는 각종 불순물을 플라즈마 단계에서 분해하여 NOx 등의 환경오염물질 발생을 억제하며 펌프 수명 연장에도 기여합니다. 강화되는 환경규제 대응이 필수인 글로벌 팹(Fab)에 적합한 솔루션입니다.

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