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제이쓰리는 6, 8, 12인치 규격의 반도체 웨이퍼를 화학적·물리적 공정(CMP 등)을 통해 초정밀하게 재생합니다. 구리막(Cu) 등 다양한 소재의 불량 또는 사용 후 웨이퍼를 고순도로 복원하여 삼성전자, SK하이닉스 등 국내 주요 반도체 기업에 공급하고 있습니다. 초미세 파티클 제어와 평탄화 기술로 품질과 생산성을 극대화하며, 친환경적인 자원 순환 솔루션을 제공합니다.

이 모듈은 EFEM(Equipment Front End Module)에 부착되어 불활성 가스를 활용해 무색무취의 레지드 가스를 정밀하게 제거함으로써 웨이퍼 표면 결점 발생을 최소화합니다. PIV 유동 촬영기법 등 첨단 해석 기술을 적용해 환경 흐름을 최적화했으며, 최대 50개까지 웨이퍼 보관 및 개별 제어가 가능하도록 설계되었습니다. 세계 최초로 개발된 이 시스템은 경쟁사 대비 독보적인 성능과 효율성을 인정받고 있습니다.

나노사이즈 파티클까지 정밀하게 제어할 수 있는 내플라즈마 코팅 솔루션으로 반도체 제조공정에서 불량률 감소와 제품 신뢰성 향상에 기여합니다.