질량유량제어기  제품/서비스 검색 결과 : 3건

FC-R780, Transformer PAR780/DNR780, FC-DR980, PI-980 등 다양한 시리즈로 구성된 Aera MFC는 반도체 및 디스플레이 공정에 최적화된 질량유량제어기입니다. 정밀한 가스 유량 제어와 높은 신뢰성, 다양한 공정 환경에 대응하는 유연성으로 생산 효율성과 품질을 극대화합니다.

엠케이피의 Gas Supply System은 반도체 및 디스플레이 제조 현장에서 다양한 가스의 안전하고 정밀한 공급을 위한 통합 솔루션입니다. 질량유량제어기, 압력제어기 등과 연동하여 공정의 효율성과 안전성을 극대화하며, 고객 맞춤형 설계와 고품질 부품 적용으로 신뢰성을 보장합니다.

MARU9000 Series는 반도체 및 디스플레이 제조 공정의 식각, 증착 등 초미세 공정에서 사용되는 차압식 질량유량제어기(Mass Flow Controller)입니다. 고정밀 유량 제어와 빠른 응답성, 내구성을 갖추었으며, 엠케이피의 독자적 기술로 개발되어 국내외 반도체 제조사에 공급되고 있습니다. MARU9000 Series는 초미세 공정의 품질과 생산성을 높이는 핵심 부품으로, 다양한 가스 및 액체의 정밀 제어가 가능합니다.