엠케이피(주)

MARU9000 Series는 반도체 및 디스플레이 제조 공정의 식각, 증착 등 초미세 공정에서 사용되는 차압식 질량유량제어기(Mass Flow Controller)입니다. 고정밀 유량 제어와 빠른 응답성, 내구성을 갖추었으며, 엠케이피의 독자적 기술로 개발되어 국내외 반도체 제조사에 공급되고 있습니다. MARU9000 Series는 초미세 공정의 품질과 생산성을 높이는 핵심 부품으로, 다양한 가스 및 액체의 정밀 제어가 가능합니다.

• 반도체공정
• 질량유량제어기
• MFC
• 초미세공정
• 식각장비

ARI7000 Series는 반도체 및 디스플레이 제조용 PI(Pressure Insensitive) Mass Flow Controller로, 다양한 공정 환경에서 안정적인 유량 제어를 제공합니다. 고정밀, 고신뢰성 설계로 식각, 증착 등 핵심 공정의 생산성과 품질을 극대화하며, 엠케이피의 자체 기술로 개발되어 글로벌 시장에서도 경쟁력을 인정받고 있습니다.

• 반도체장비
• PI MFC
• 유량제어
• 디스플레이제조
• 공정자동화

엠케이피의 Gas Supply System은 반도체 및 디스플레이 제조 현장에서 다양한 가스의 안전하고 정밀한 공급을 위한 통합 솔루션입니다. 질량유량제어기, 압력제어기 등과 연동하여 공정의 효율성과 안전성을 극대화하며, 고객 맞춤형 설계와 고품질 부품 적용으로 신뢰성을 보장합니다.

• 가스공급
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• 공정자동화
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