반도체 제조 공정에 필수적인 CHAMBER는 고도의 정밀 가공과 내구성을 바탕으로, 플라즈마 처리, 증착, 식각 등 다양한 반도체 공정에 최적화된 환경을 제공합니다. 대성이엔티의 CHAMBER는 오랜 기술 노하우와 품질 관리로 고객의 생산성 향상과 공정 안정성에 기여합니다.
고진공 고온 챔버는 OLED 및 반도체 공정에 특화된 장비로, 극한의 진공과 고온 환경에서도 안정적인 공정 제어가 가능합니다. 균일한 온도분포와 고속 온도 제어, 진공 물류시스템 등 첨단 기술이 적용되어 고품질의 박막 증착 및 세정 공정에 최적화되어 있습니다. 다양한 반도체 및 디스플레이 제조 라인에 적용할 수 있습니다.