CERAUS ZX 시리즈는 고진공 증착 공정에 특화된 장비로, 반도체 및 전자부품 제조에 최적화되어 있습니다. 고속·고정밀 박막 증착이 가능하며, 다양한 재료의 증착을 지원하여 생산 라인의 유연성을 높입니다. 자동화 및 모듈화 설계로 유지보수와 확장성이 뛰어나고, 에너지 효율 및 생산성 향상에 중점을 둔 첨단 솔루션을 제공합니다. 반도체, 전자부품, 디스플레이 등 첨단 제조 현장에서 신뢰받는 핵심 장비입니다.
러셀의 200mm 및 300mm 증착장비는 반도체 제조 공정의 핵심인 박막 증착(TFT, CVD, PVD 등)에 특화된 고성능 장비로, 글로벌 반도체 기업에 공급되고 있습니다. 고객 맞춤형 리퍼비시(Refurbish) 및 업그레이드 서비스를 통해 장비의 신뢰성과 생산성을 극대화하며, 8인치 및 12인치 웨이퍼 생산라인에 최적화된 솔루션을 제공합니다.
YAS OLED System은 대형 OLED TV 및 조명용 유리기판에 유기물질을 정밀하게 증착하는 첨단 장비로, 세계 최초 8세대 대형 디스플레이 증착장비 양산에 성공한 독보적 기술력을 자랑합니다. 진공 환경에서 균일하고 불순물 없는 유기층 형성을 실현하여, 고해상도·고품질 OLED 패널 생산의 핵심 공정 자동화를 지원합니다. 글로벌 주요 디스플레이 제조사에 공급되며, 신뢰성과 생산성 모두를 만족시키는 차세대 증착 솔루션입니다.
차세대 대형 OLED 패널 생산을 위한 고정밀, 고효율 증착장비로, 인라인 물류 시스템과 Linear Source 상향 증착방식을 적용하여 대면적 패널의 대량 생산에 최적화되어 있습니다. 세계 유수 디스플레이 기업에 공급되며, 고부가가치 IT·TV용 OLED 시장을 선도하는 핵심 장비입니다.
아바코의 OLED 진공증착시스템은 유기발광다이오드(OLED) 제조 공정에서 핵심적인 역할을 하는 첨단 장비입니다. 이 시스템은 마스크와 기판을 보호하며, 정밀한 기판 위치 조절과 온·습도, 진공상태를 유지하여 이물질 접촉을 최소화하고 유기물 증착의 정확도를 극대화합니다. 아바코는 국내에서 해당 장비를 유일하게 양산할 수 있는 기술력을 보유하고 있으며, 글로벌 디스플레이 시장에서 인정받고 있습니다.
반도체 증착 및 식각 공정에 사용되는 샤워 헤드는 균일한 가스 분포와 내식성 소재를 적용하여 공정 효율과 품질을 극대화합니다. 맥스플러스이엔지(주)의 샤워 헤드는 미세 가공 기술을 통해 정밀한 가스 분사와 내구성을 실현하여, 첨단 반도체 제조 환경에 최적화된 솔루션을 제공합니다.
