BTBAS는 CVD/ALD 공정을 통한 SiO₂ 박막 증착용 실리콘계 전구체로, 차세대 반도체의 게이트 절연막 및 인터레이어 디엘렉트릭 등에 폭넓게 활용됩니다. 우수한 열적 안정성과 낮은 금속 불순물 함량으로 초미세 회로 구현에 적합하며, 대량생산 라인에서도 일관된 품질과 높은 생산성을 제공합니다.
WF₆는 반도체 회로의 금속 배선 형성 공정에 사용되는 고순도 금속 증착용 특수가스입니다. SK머티리얼즈는 WF₆ 글로벌 최대 생산기업으로, 고순도·고안정성 제품을 통해 첨단 반도체 제조의 생산성과 품질을 극대화합니다. WF₆는 미세회로 구현에 필수적인 소재로, 글로벌 반도체 산업의 핵심 경쟁력을 제공합니다.
FMM Mask 및 Align Mask 등 다양한 타입의 마스크를 레이저로 정밀하게 절단·가공하는 장치입니다. OLED 증착용 마스크뿐 아니라 Cover/Howling Mask 등 다양한 부품에 적용되어 고품질 디스플레이 생산을 지원합니다. 미세 가공과 자동화된 검사 기능으로 생산 효율성과 품질 안정성을 동시에 제공합니다.
Open Metal Mask는 대형 OLED 패널 제조에 사용되는 증착용 마스크로서 넓은 면적에서도 균일하고 정교한 유기물 증착이 가능하도록 설계되었습니다. 풍원정밀의 OMM은 독자적인 에칭 및 금속 가공 기술을 적용하여 고해상도 TV 및 첨단 IT 기기의 대형화 트렌드에 최적화된 성능과 내구성을 제공합니다.
S-Mask는 핌스의 특허 슬라이트 에칭 기술이 적용된 고정밀 OLED 증착용 메탈마스크로, 기존 OMM(Open Metal Mask) 대비 유기물 증착의 정확도를 크게 향상시킵니다. 마더글라스와 마스크 사이의 틈을 최소화하여 패널의 Narrow Bezel 설계에 최적화되어 있으며, Shadow 영역의 하프 에칭 깊이를 10㎛ 수준까지 미세하게 제어할 수 있어 고품질 디스플레이 구현에 필수적인 제품입니다.