에스케이머티리얼즈(주) - K-Global TechHub

기업 정보

주요 상품

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삼불화질소(NF₃, Nitrogen Trifluoride)
NF₃는 반도체 및 디스플레이 제조 공정에서 플라즈마 식각 및 CVD(화학기상증착) 장비의 챔버 세정용으로 사용되는 고순도 특수가스입니다. SK머티리얼즈는 국내 최초로 NF₃ 국산화에 성공했으며, 세계 시장 점유율 1위를 기록하고 있습니다. NF₃는 뛰어난 세정 효율과 낮은 환경 영향으로 첨단 반도체·디스플레이 제조에 필수적인 소재입니다.
육불화텅스텐(WF₆, Tungsten Hexafluoride)
WF₆는 반도체 회로의 금속 배선 형성 공정에 사용되는 고순도 금속 증착용 특수가스입니다. SK머티리얼즈는 WF₆ 글로벌 최대 생산기업으로, 고순도·고안정성 제품을 통해 첨단 반도체 제조의 생산성과 품질을 극대화합니다. WF₆는 미세회로 구현에 필수적인 소재로, 글로벌 반도체 산업의 핵심 경쟁력을 제공합니다.
모노실란(SiH₄, Monosilane)
SiH₄는 반도체 및 디스플레이 제조 공정에서 실리콘 박막 증착에 사용되는 고순도 실란계 특수가스입니다. SK머티리얼즈는 세계 2위의 SiH₄ 생산기업으로, 고순도·고안정성의 SiH₄를 통해 첨단 반도체, 태양전지, 디스플레이 산업의 핵심 소재 공급을 선도하고 있습니다. SiH₄는 미세공정 구현과 고효율 박막 형성에 필수적입니다.

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