코미코의 세라믹 히터는 CVD, ALD 등 반도체 증착(Deposition) 공정 장비에 장착되어 웨이퍼에 열을 균일하게 가해주는 고기능성 부품입니다. 고순도 세라믹 소재와 정밀 가공 기술을 적용하여, 높은 내구성과 우수한 온도 균일성을 자랑합니다. 이를 통해 반도체 제조 공정의 생산 수율과 장비 효율성을 극대화하며, 미세화·고집적화되는 반도체 공정에 최적화된 솔루션을 제공합니다.
원자층 증착(Atomic Layer Deposition, ALD) 장비에 사용되는 부품으로, 절연막 형성 등 고사양 반도체 칩 제조 공정에 필수적입니다. 균일한 가스 분사와 내구성, 정밀 가공이 강점이며, 최신 반도체 및 디스플레이 생산라인에서 높은 신뢰성과 생산성을 제공합니다. 동원파츠의 샤워 헤드는 고객 맞춤형 설계와 품질관리로 글로벌 시장에서 경쟁력을 인정받고 있습니다.
S-Mask는 핌스의 특허 슬라이트 에칭 기술이 적용된 고정밀 OLED 증착용 메탈마스크로, 기존 OMM(Open Metal Mask) 대비 유기물 증착의 정확도를 크게 향상시킵니다. 마더글라스와 마스크 사이의 틈을 최소화하여 패널의 Narrow Bezel 설계에 최적화되어 있으며, Shadow 영역의 하프 에칭 깊이를 10㎛ 수준까지 미세하게 제어할 수 있어 고품질 디스플레이 구현에 필수적인 제품입니다.
OMM(Open Metal Mask)는 모바일 및 TV용 OLED 패널 제조의 증착 공정에서 핵심적으로 사용되는 초정밀 금속 마스크입니다. 이 제품은 유기물질이 디스플레이 기판의 특정 위치에만 정확하게 증착될 수 있도록 설계되어, 고해상도·대면적 OLED 패널 생산에 필수적입니다. 세우인코퍼레이션은 국내외에서 가장 먼저 양산을 시작한 기업으로, 우수한 소재 선정과 정밀 가공 기술을 바탕으로 높은 내구성과 정밀도를 자랑합니다. 중국 등 글로벌 디스플레이 제조사에도 공급되며, 대형화·고해상도화 트렌드에 맞춰 지속적으로 기술 혁신을 이루고 있습니다.
