미코세라믹스의 세라믹 정전척(ESC)은 반도체 제조 장비 내에서 웨이퍼를 정밀하게 고정하는 첨단 부품으로, 알루미나(Al₂O₃), 질화알루미늄(AlN) 등 고기능성 세라믹 소재를 적용하여 우수한 절연성과 내구성을 자랑합니다. 정밀한 온도 제어와 안정적인 웨이퍼 고정 성능을 제공해 반도체 미세공정의 생산성과 품질을 높이며, 글로벌 반도체 장비 시장에서 경쟁력을 인정받고 있습니다.
LCD 및 OLED 제조공정의 핵심 부품인 ESC(정전척)는 드라이 에칭 공정에서 기판을 하부 전극에 고정시키고 온도를 제어하는 첨단 장치로, 코리아스타텍은 일본이 독점하던 이 기술의 국산화에 성공했으며 단극유도(monopolar)와 세계 최초 대면적 양극유도(bipolar) ESC까지 자체 개발하여 디스플레이 산업 경쟁력을 높이고 있습니다.
반도체와 디스플레이 제조 공정에 필수적인 ESC(정전척)와 각종 파츠를 설계부터 가공, 고기능 코팅까지 일괄 제공하며, 고내구성·고순도의 표면처리 기술을 바탕으로 미세 오염 방지와 수명 연장을 실현합니다. 다양한 산업 현장에 맞춤형 솔루션을 공급하여 생산 효율성과 품질 향상에 기여합니다.
최첨단 반도체 제조 공정에 필수적인 정전척(ESC)은 웨이퍼를 정밀하게 고정하고, 열 제어 및 정전기 제어 기능을 통합한 핵심 부품입니다. (주)엘케이엔지니어링은 ESC 본체, ESC Plate, ESC 전극, ESC Heater 등 다양한 설계와 3D 가공, 초음파·열화상·TC wafer 검사 등 첨단 품질관리 기술을 적용하여, 고객 맞춤형 고성능 ESC를 제공합니다. 세라믹, AlN, SiC 등 다양한 소재와 미세 입자 패턴 가공, 특수 연마, 마이크로 평탄도 가공 등 차별화된 기술력을 보유하고 있습니다.
반도체 및 디스플레이 산업의 핵심 공정에 사용되는 세라믹 정전척은 기판을 정전기력으로 고정·흡착시켜 정밀한 가공과 고효율 생산을 실현합니다. 이지스코의 세라믹 정전척은 사파이어, 글라스 등 다양한 부도체 기판에 적용 가능하며, 높은 내전압성과 우수한 정전력으로 대면적 OLED, LCD, LED 공정에서 기판 처짐 방지 및 칩 수율 향상에 기여합니다. 4인치, 6인치 등 다양한 규격으로 제공되며, 국내 최고 수준의 기술력과 특허를 보유하고 있습니다.
고무 정전척은 반도체 및 디스플레이 생산라인에서 다양한 기판을 안정적으로 고정하는 데 최적화된 제품입니다. 유연한 고무 소재를 사용하여 기판의 미세한 굴곡에도 밀착력이 뛰어나며, 정전기 흡착 성능과 내구성이 우수해 반복 사용에도 안정적인 작업 환경을 제공합니다. 다양한 크기와 사양으로 맞춤 제작이 가능하여 고객의 생산 효율을 극대화합니다.
KSTE의 정전척은 반도체 제조 공정에서 웨이퍼를 안정적으로 고정하는 핵심 장비 부품으로, 국내 유일 일괄 생산라인을 통해 높은 품질과 신뢰성을 자랑합니다. 뛰어난 절연 성능과 내구성, 우수한 평탄도를 바탕으로 미세 패턴 공정에 최적화되어 있으며, 글로벌 반도체 제조사에서도 인정받는 첨단 기술력이 집약된 제품입니다.
