케이씨텍의 Batch Wet Cleaning System은 300mm 실리콘 웨이퍼의 양면에서 발생하는 미세 오염물(파티클, 금속 불순물, 표면 흡착 화학물질 등)을 효과적으로 제거하는 첨단 침적식 세정장비입니다. 25~50매의 웨이퍼를 다수의 세정조에 침적하여 약액 처리 후 순수로 세척, Hot IPA로 건조하는 방식으로, 공정 라인에 맞춰 Front Type과 I Type으로 유연하게 대응할 수 있습니다. 뛰어난 파티클 제거 성능, 금속 오염 최소화, 높은 처리량(최대 460 WPH), 공정 자유도, 연속 처리로 오염 및 산화막 성장을 방지하는 등 반도체 제조 현장의 수율과 신뢰성을 극대화합니다.
서플러스글로벌은 25년간 축적된 경험과 글로벌 네트워크를 바탕으로, 반도체 전공정·후공정, LED, 디스플레이, 태양광 등 전자산업 전반에 걸친 2,000대 이상의 중고 장비를 온라인·오프라인 마켓플레이스에서 제공합니다. 고객 맞춤 사양, 가격, 납기 조건에 최적화된 장비를 전 세계 시장에서 신속하게 공급하며, 매각대행, 리퍼비시, 렌탈, 금융 등 다양한 솔루션을 통해 반도체 제조사의 생산성과 투자 효율을 극대화합니다.
