잔류가스제거  제품/서비스 검색 결과 : 1건

FFS2000은 반도체 제조공정에서 발생하는 웨이퍼 표면의 잔류가스를 효과적으로 제거하여 불량률을 현저히 낮추는 첨단 장치입니다. 플라즈마 공정 후 웨이퍼에 남아있는 오염물질을 신속하게 처리하며, 모듈형 설계로 기존 장비에 손쉽게 부착할 수 있어 설치 공간 및 생산공정 추가 없이 효율적인 환경 제어가 가능합니다. 최소 Foot Print를 차지하면서 주변 장비의 수명 연장에도 기여하며, 국내외 대형 반도체 업체에 공급되고 있습니다.