유해가스저감  제품/서비스 검색 결과 : 1건

Protron은 반도체 제조 공정에서 발생하는 유해 폐가스를 친환경적으로 정화하여 대기로 안전하게 배출하는 차세대 비연료(Non-fuel) 가스저감장치입니다. 화석연료를 사용하지 않으면서도 CVD, Diffusion, Etch 등 다양한 반도체 공정에 적용 가능하며, 우수한 가연성 처리능력과 높은 효율성을 자랑합니다. 탄소 저감 및 ESG 목표 달성을 위한 최적의 솔루션으로 인정받고 있습니다.